半導体向け保護膜に使われている感光性ポリイミド樹脂を利用し、安価でカスタマイズできるマイクロ化学チップをマイクロリアクターを研究する大学や研究機関向けに販売を進めています。

現在マイクロ化学チップの主流は強固なガラスをエッチングやブラスト(吹き付け)加工し流路を形成しており、研究者が希望するデザイン流路(チャンネル)を実現するには、非常に高額なチップを必要とし研究者の負担になっていました。


弊社が販売するマイクロ化学チップは、ポリイミド樹脂を流路壁面構造体(ガラス/ポリイミド/ガラスの3層構造)とする為、ガラスの加工が要らず安価でカスタマイズできるマイクロ化学チップを製造出来ます。

残念ながら、具体的なアプリケーションはまだ出てきていませんが、今後μTAS(マイクロタス)用途への展開が考えられます。研究者の皆様のご興味頂く事を期待しています。

主な特徴は、1枚からカスタマイズチップが作成できます。納期も1週間以内で対応可能です。エッチングを行わない為、流路壁面(上下左右)も非常に滑らかです。また、6インチウェハから製作するのでチップサイズも自由にできます。





ベース基板(ガラス)にフォトエッチングでポリイミド膜を成膜、マイクロチャンネル形成します。
事前に所定の位置にブラストによる貫通穴を開けたカバー基板(ガラス)にベース基板(ガラス)を張り合わせます。


流路面(左記のSEM写真)はガラス基板の流路底に加え流路壁も非常に滑らかです。

流路壁高は、5μ〜100μm、
流路幅は、30μm以上であれば成型可能です。

基板はガラスに限らず柔軟に対応致します。




正面 側面


流路壁面SEM写真

ポリイミド樹脂での接合は、流路をまたぐ電極構造を組み込む事も可能です。
右記SEM写真で流路壁面を形成する樹脂が完全にアルミ配線を覆っている事が確認出来ます。樹脂接合ですので基板を選びません。配線のあるシリコン基板にも流路を形成できます。




弊社が提案するポリイミド樹脂併用マイクロ化学チップだけではなくガラス切削流路チップやその他の樹脂流路チップも取り扱っています。




ガラス切削基板
あらゆるチップ素材には、一長一短があると思います。複数のマイクロ化学チップの素材を取り扱う事でマスクを共通化でき、比較検討が容易です。

取り扱いチップ素材は、ガラス以外にセラミックス(アルミナ、アルミナ、SiC、その他)やシリコン・ カーボン等






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